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UV物鏡 5×/50×/100×

根據採用該焦點距離 95 mm，從短波長到可視範圍的寬廣的範圍達成無色了。

1.半導體晶圓切割機的光學系統的加工用鏡頭
2.應用於光罩修補,能處理 Open / Short Defect 複合型修補機.
3.搭配雷射修補機台對Array段做修補.

＊UV用第 2 物鏡用有另準備外賣。